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1.按洁净室结构分
1）乱流式
空气由空调箱经风管与洁净室的空气过滤器（HEPA）进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线性运动而呈不规则的乱流或涡流状态。此形式适用于1~10万级的洁净室。
定义：气流以不均匀速度不平行流动、伴有回流或涡流的洁净室。
特性：乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别�；黄问龆ǘㄒ逯械木换侗穑ɑ黄问蕉�，净化级别越高）
（1）自净时间：是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室，室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。1000级希望不超过20min（可取15min计算）；10000级希望不超过30min（可取25min计算）；100000级希望不超过40min（可取30min计算）。
（2）换气次数（按上述自净时间要求设计）：1000级43.5~55.3次/h（规范：50次/h）；10000级23.8~28.6次/h（规范：25次/h）；100000级14.4~19.2次/h（规范：15次/h）。
优点：构造简单，系统造建成本较低，洁净室扩充比较容易，在某些特殊场合，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。
缺点：乱流造成的微尘粒子在室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达到需求的洁净度，往往耗时相当长。
2）层流式
层流式空气气流运动呈均匀直线性，空气由过滤器（100％覆盖工作区）进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此形式适用于洁净室等级较高的环境使用，一般其洁净室等级为1~100。
其形式可分为两种
（1）水平层流式
水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁的回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染比较严重。
优点：构造简单，运转后短时间内即可稳定。
缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。
（2）垂直层流式
房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得到较高的洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘�？杀豢焖倥懦鍪彝舛挥跋炱渌ぷ髑�。
优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易受作业状态或作业人员的影响。
缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板的吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。
  (3）复合式
复合式为将乱流式及层流式予及复合式或并用，可提供局部超洁净空气。
（1）洁净隧道
以HEPA（微�？掌┗騏LPA（超低微�？掌┕似�，将制程区域或工作区域100％覆盖，使洁净等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。
此形式需将作业人员工作区与产品和机器维修予以隔离，以免机器维修时影响工作及产品品质，ULSL制程大都采用此种形式。
优点：弹性扩充容易；维修设备时可在维修区轻易执行
（2）洁净管道
将产品流程经过的自动产生线包围并净化处理，将洁净度等级提高至100级以上。
因产品和作业Ryan及发生尘环境相互隔离，少量送风即可得到良好的洁净度，可节省能源，无须人工的自动化生产线为最适宜使用。药瓶、食品业界及半导体业界均适用。
（3）并装局部洁净室
将洁净室等级10000~100000的乱流洁净室内的产品制程区的洁净度等级提高到10~1000级以上，作为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
洁净工作台：等级1~100级。
洁净工作棚：为在乱流式洁净室空间内，为防静电可用透明塑料布围成一个小空间，采用独立的HEPA或ULPA及空调送风机组组成一个较高等级的洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5m左右，覆盖面积在10㎡以下，四支柱下加装活动轮，可弹性运用。
2.按洁净室用途分
  (1）工业洁净室
以无生命的微粒为控制对象。主要控制空气尘埃微粒对故障对象的污染，内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业（半导体、集成电路等）宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业（光盘、胶片、磁带产生）LCD（液晶玻璃）、计算机硬盘、计算机磁头生产等行业。
  (2）生物洁净室
主要控制有生命微粒（细菌）与无生命微粒（尘埃）对工作对象的污染。
（1）一般生物洁净室
主要控制微生物（细菌）对工作对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀，内部一般保证正压。实质上是其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业洁净室，如制药工业、医院（手术室、无菌病房）食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等。
（2）生物学安全洁净室
主要控制有生命微粒对工作对象的污染。洁净室内部要保持与大气的负压，应用于细菌学、生物学、洁净实验室、物物工程（重组基因、疫苗制备）等邻域。
3.洁净室等级
ISO/DIS 14644-1 洁净室和洁净区按空气中悬浮粒子浓度的分级，ISO 分级大于或等于以下表格所列粒子最大允许浓度,


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